一束光（通常是汞弧灯发出的紫外光）先穿透铬光罩，然后通过透镜把影像聚焦在晶圆表面的有机高分子感光涂料（称为光阻剂）。
光致抗蚀剂
photoresist
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相关例句
利用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加方法，对光刻胶表面的衍射光场进行了快速计算机模拟，并与霍普金斯理论计算结果进行了分析比较。
文摘:简述了印制电路板生产用的专用印料：抗蚀刻印料，抗电镀印料，阻焊印料，字符、标记印料，塞孔印料，导电印料，可剥性印料，焊膏印料等各类印料的技术规范、工艺参数和生产操作技术。
我的装置会用一个光敏电阻器连接到窗框上，来感应黎明时玫瑰色晨曦的抚触。
立体微影加工之主要因素有光阻反应的波长、紫外线光波长、聚焦面积及光强度。目标为传统微机电加工难以达成之三维微结构加工。