暗视野

摘要介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法，可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图（暗场）进行检查。

dark-field microscope

dark-field illumination

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dark-field illmination【光】

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condenser for dark-field illumination

paraboloid dark-field condenser

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