【电】 真空蒸馏

摘要就真空蒸发镀膜在大功率螺旋线行波管上的应用、工艺要点进行了总结。

摘要用真空蒸发技术和自然氧化法在玻璃衬底上制备纳米级的硅／氧化硅薄膜和多层膜。

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