在等离子刻蚀模式下，表面形成了比使用RIE情况下更厚的钝化层。
【化学】钝化层
passivation layer
暂无补充释义。
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passivation
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passivation technology【化学】
passivation【化学】
multilayer dielectric passivation【化学】
passivation layer
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在等离子刻蚀模式下，表面形成了比使用RIE情况下更厚的钝化层。
passivation
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