摘要为满足小体积、多参数测量的要求，采用SOI硅片，设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器，其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应，温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。
绝对压强
absolute pressure
暂无补充释义。
相关例句
由数据分析可见，当介质温度一定时，木材水分扩散系数随绝对压力的减小和压力变化速率的加大而增加，且压力变化速率对扩散系数的影响大于绝对压力的影响。
absolute pressure
暂无补充释义。
摘要为满足小体积、多参数测量的要求，采用SOI硅片，设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器，其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应，温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。
由数据分析可见，当介质温度一定时，木材水分扩散系数随绝对压力的减小和压力变化速率的加大而增加，且压力变化速率对扩散系数的影响大于绝对压力的影响。