【计】超大规模集成电路

ULSI

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相关例句

文摘:对超大规模集成电路制备中二氧化硅介质的抛光机理、工艺条件的选择进行了大量理论和实验研究，着重研究了使用化学方法提高抛光速率、改善表面状况以及如何解决抛光浆料的沉积等问题，并实现了技术突破。