摘要接近式光刻中一般采用柯勒照明系统，并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布。
【医】 科勒氏照明(显微镜)
Kohler illumination
暂无补充释义。
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Kohler illumination【电】
Kohler's disease
Kohler's bone disease
Kohler's disease【外科】;osteochondritis【外科】
Kohler's method of illumination
Kohler illumination
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