影印石版术,照相平版

套准精度-在光刻工艺中转移图形的精度。

但由于结构变得更小后，传统的光蚀刻法变得更难做，因此业者正在找寻其他技术，以做出未来的奈米晶片。

摘要在晶圆制造中，由于晶圆的原料及机台成本昂贵，为了能够增加晶圆的良率，利用再加工的方式来补救不良的晶圆为可行的措施。

本文讨论在微影黄光区中几种再加工策略，并与常用的派工法则配合，期找出最适的生产控制组合。

接著，光蚀刻法用一种类似照相暗房中进行的过程（见右页图），把图案的尺寸缩小。

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