旅客桥

提出采用紫外光刻工艺制作传统波导结构之后，通过电子束曝光和干法刻蚀制作光子晶体小孔的工艺方案，大幅度减低了制作成本；设计出可形成空气桥结构、并且适用于电子束曝光位置识别的光刻模板，在SOI材料上成功制作出带有空气桥刻蚀预留槽以及接续光波导的