文摘:对超大规模集成电路制备中二氧化硅介质的抛光机理、工艺条件的选择进行了大量理论和实验研究,着重研究了使用化学方法提高抛光速率、改善表面状况以及如何解决抛光浆料的沉积等问题,并实现了技术突破。
【化】 加工条件
processing conditions
暂无补充释义。
相关例句
文摘:本文从合成条件、掺杂剂、掺杂条件等不同角度出发,研究了聚苯胺的电导率变化规律,并对其介电特性进行了初步的测试分析。
以煤沥青和石油生焦为原料,以浓硝酸和浓硫酸混合物为氧化剂,对炭质原料性能与水性中间相的产率之间的关系以及工艺条件对水性中间相产率的影响进行了研究。
摘要以精纺粗花呢纯毛织物为例,探讨纤维、纱线、织物结构因素及后整理工艺条件对精纺粗花呢织物起毛起球的影响。
摘要综述了近年来在微孔膜的非对称性结构控制方面的研究进展,重点介绍了添加剂种类和摩尔质量、聚合物组成和制膜工艺等对微孔膜非对称结构的影响。
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